在开发5nm制程技术仅一年之后，三星就开始了 5nm EUV（极紫外）生产线的建设。三星公司希望在2030年之前击败台积电，并成为半导体业务的领导者。
三星已经从主要的半导体设备制造商那里订购了必要设备，以在其华城V1工厂内建立一条5nm晶圆代工厂线。安装所有必需的设备来制造半导体芯片通常需要两到三个月，三星已经安装了其中的一些设备。因此，预计该公司将在2020年6月底之前准备好5nm生产线。
建造半导体芯片生产线后，通常需要几个月的稳定时间，其中包括测试、评估和提高产量。因此，业内人士预计，三星将能够在今年年底或明年初大规模生产5nm芯片。这意味着三星将在5nm芯片量产方面落后于台积电6个月。
据了解，三星公司的5nm EUV技术将使芯片比7nm EUV技术制造的芯片小25％。三星已收到高通的订单，用于生产基于5nm EUV的骁龙 X60 5G调制解调器芯片组。
自2017年以来，三星一直在半导体制造部门中排名第二，但尚无法击败台积电。由于台积电和三星是唯一开发5nm EUV技术的厂商，三星希望将在未来几年内收到更多5nm订单。
三星还成功开发了3nm制程技术，并有望在2021年建立3nm代工生产线，并与台积电在2022年大规模生产的3nm芯片进行竞争。
